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PD-150Q等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品摘要

PD-150Q射頻等離子清洗機(jī)由真空腔體及等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。適用于實(shí)驗(yàn)室科研、小批量生產(chǎn)，小部件納米清洗、表面活化、表面改性或PCB 制造、半導(dǎo)體 LED制造、TSP OLED 設(shè)備、真空等離子噴涂系統(tǒng)等工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。

產(chǎn)品介紹

設(shè)備參數(shù)：

★罐體尺寸：304不銹鋼真空方形腔體，內(nèi)腔容積約150*150*200mm；設(shè)備外形尺寸：L500×W520×H500mm

★極限真空度：1Pa

★射頻電源，功率0～150 W手動(dòng)可調(diào)可控

★工作環(huán)境：0～45℃，濕度<85% AC電源220V±15%，50/60HZ 充氣系統(tǒng)包括1路氣體質(zhì)量流量計(jì)，以控制清洗氣體的進(jìn)氣流量，方便氣體導(dǎo)入

★真空系統(tǒng) 型號(hào)：VDS-6;抽氣速度≥1.5升/秒,極限真空1pa，工作電壓220伏

★PLC+觸摸屏手自動(dòng)控制系統(tǒng)。一體式機(jī)柜，噴塑處理

★清洗區(qū)域尺寸：120×120mm/210*210mm

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PD-150Q等離子清洗機(jī)

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