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設備參數：
★罐體尺寸：304不銹鋼真空方形腔體，內腔容積約150*150*200mm；設備外形尺寸：寬525mm深400mm高400mm
★極限真空度：1Pa
★射頻電源，功率0～150 W手動可調可控
★工作環(huán)境：0～45℃，濕度<85% AC電源220V±15%，50/60HZ 充氣系統(tǒng)包括1路氣體質量流量計，以控制清洗氣體的進氣流量，方便氣體導入
★真空系統(tǒng) 型號：VDS-6;抽氣速度≥1.5升/秒,極限真空1pa，工作電壓220伏
★PLC+觸摸屏手自動控制系統(tǒng)。一體式機柜，噴塑處理
★清洗區(qū)域尺寸：120×120mm/210*210mm
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