密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態(tài)下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質(zhì)量的空氣所輸" />
設(shè)備特點(diǎn):
★鍍率PID自動調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定蒸鍍速率
★長時間運(yùn)行生產(chǎn),確保產(chǎn)線稼動率
★線型蒸發(fā)源最高溫度650℃;點(diǎn)型蒸發(fā)源最高溫度1500℃
設(shè)備參數(shù):
★基板尺寸:基板最大寬幅≤650mmx450mm;roller to roller傳動
★蒸鍍方式:點(diǎn)型蒸發(fā)源、電子束、線型蒸發(fā)源
★膜厚均勻性優(yōu)異(±3%~±5%)重復(fù)性優(yōu)異(±2%~±3%)