掃一掃
關(guān)注公眾號(hào)
- 網(wǎng)站首頁
- 產(chǎn)品中心 --> --> --> -->
- 服務(wù)支持
- 關(guān)于普迪
- 新聞中心
- 聯(lián)系我們
設(shè)備特點(diǎn)：
★全不銹鋼真空腔室，保證系統(tǒng)的耐久性及操作安全性；更合理的氣路設(shè)計(jì)及細(xì)節(jié)考慮
★更的小體積，系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)可擴(kuò)展性高在保證系統(tǒng)穩(wěn)定性的前提下，進(jìn)一步優(yōu)化您的實(shí)驗(yàn)室利用空間。
★系統(tǒng)采用機(jī)械泵+進(jìn)口分子泵組成高真空系統(tǒng)，抽到工作高真空僅需15-20min，節(jié)省實(shí)驗(yàn)時(shí)間。
設(shè)備參數(shù)：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：Φ260×H350(圓柱型）
★設(shè)備尺寸L×W×H：600×500×900mm；
★真空極限：優(yōu)于（5E﹣05）Pa
★抽速保壓：（8E﹣04）Pa≤30min保壓12小時(shí)≤5pa
★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復(fù)性優(yōu)異（±3％~±5%）
★基片臺(tái)：≤80mm×80mm；
★蒸發(fā)源：可搭配1～2組蒸發(fā)源（兼容金屬與有機(jī)），可共蒸或切換蒸發(fā)
QQ客服