密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過(guò)程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態(tài)下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質(zhì)量的空氣所輸" />

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產(chǎn)品中心
連續(xù)進(jìn)樣蒸發(fā)蒸鍍?cè)O(shè)備
產(chǎn)品摘要
該系列配置電動(dòng)取樣桿,實(shí)現(xiàn)多片連續(xù)蒸鍍。運(yùn)用于高校科研院所實(shí)驗(yàn)室制備金屬薄膜、氧化物、光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹

★系統(tǒng)組成:電動(dòng)取樣桿+進(jìn)樣腔+工藝腔

★基片尺寸:300mm x 300mm 

★蒸鍍方式:樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)式

★進(jìn)樣腔:可放4片樣品

★工藝腔:配置4個(gè)40cc 點(diǎn)源,滿足BCP,C60,LiF,金屬蒸鍍

★膜厚均勻性:

真空:(9E-05)Pa小于24小時(shí)之內(nèi)


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