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★整機(jī)外形尺寸：L750×W1000×H1800(mm)
★反應(yīng)腔尺寸：520×520×H600(mm)，約150L)
★清潔尺寸：500×500mm
★射頻電源：13.56MHz，600W
★氣體流量控制：1-2路質(zhì)量流量控制器（0~500SCCM）
★工作氣體：氧、氬氣，另提供一路氮?dú)庥糜诶鋮s樣品（高純，用戶自備）
★壓縮空氣：接口壓力大于0.5MPa（用戶自備）
★真空抽氣及測(cè)量系統(tǒng)：配備一臺(tái)8L機(jī)械泵，抽氣管道采用不銹鋼真空波紋管，
★控制方式：采用10寸觸摸屏+PLC組成的人機(jī)界面控制方式，操作方式包括手動(dòng)模式或自動(dòng)模式，在自動(dòng)模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理，可同時(shí)存儲(chǔ)100組不同配方。使用時(shí)只需將相應(yīng)配方號(hào)調(diào)出即可。
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