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設(shè)備特點(diǎn)：
★廣泛應(yīng)用于蒸發(fā)金、銀等貴金屬材料的電極制備，適合半導(dǎo)體剝離工藝，節(jié)省蒸鍍材料
★系統(tǒng)配置上配備了脂潤(rùn)滑無(wú)油分子泵可任意角度安裝，縮短抽氣管道提高了抽速，節(jié)約樣品制備時(shí)間
★可升級(jí)不停泵放氣功能，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制功能
設(shè)備參數(shù)：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：300×300×400
★設(shè)備尺寸（L×W×Hmm)：530×750×1800
★真空極限：優(yōu)于（5E﹣05）Pa
★抽速保壓：（8E﹣04）≤30min保壓12小時(shí)≤5pa
★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復(fù)性優(yōu)異（±3％~±5%）
★基片臺(tái)：≤100mm×100mm
★蒸發(fā)源：可搭配2～4組蒸發(fā)源（兼容金屬與有機(jī)），可共蒸或切換蒸發(fā)
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