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設(shè)備特點(diǎn)：
★性能卓越的蒸發(fā)電源；保證工藝穩(wěn)定性及高重復(fù)性
★專業(yè)真空蒸發(fā)電源，恒流/恒功率控制。電流、功率可以預(yù)先設(shè)置，可實(shí)現(xiàn)一鍵啟動(dòng)和停止的自動(dòng)控制功能
★系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏操作，整體美觀操作簡(jiǎn)單，自動(dòng)化程度高
★襯底可選擇加熱或水冷，源基距最大350mm
設(shè)備參數(shù)：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：350×350×450
設(shè)備尺寸（L×W×Hmm)：750×1100×1900
★真空極限：優(yōu)于（5E﹣05）Pa
抽速保壓：（8E﹣04）≤30min保壓12小時(shí)≤5pa
★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復(fù)性優(yōu)異（±3％~±5%）
★基片臺(tái)：≤120mm×120mm
★蒸發(fā)源：可搭配4～6組蒸發(fā)源（兼容金屬與有機(jī)），可共蒸或切換蒸發(fā)
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