真空鍍膜設備真空熱處理是指金屬制件在真空或先抽真空后通惰性氣體條件下加熱，然后在油或氣體中淬火冷卻的技術。由于真空熱處理時，工件基本不氧化，鋼件不脫碳，采用通氣對流加熱方式還可使加熱均勻，減少表面和心部的溫差，從而也減少畸變。目前它已成為優(yōu)質(zhì)工模具不可或缺和首選的熱處理工藝。更為可貴的是，真空熱處理在生產(chǎn)過程中不會產(chǎn)生任何污染環(huán)境的物質(zhì)，從而被大家公認屬于清潔生產(chǎn)技術范疇?？梢院敛豢鋸埖卣f，真空熱處理已成為當前先進熱處理生產(chǎn)技術的主要標志。
    在真空條件下加熱工件，主要依賴輻射。由于輻射傳熱與溫度的4次方成比例，所以在850℃以下輻射效果不高，工件加熱速度很慢；其次，因為金屬材料中的某些合金元素在低壓條件下加熱時有蒸發(fā)損失現(xiàn)象，會造成表面合金元素的貧乏，以致影響其淬火后的表面層性能。對流加熱技術是指先將真空鍍膜設備真空爐爐膛抽到一定真空度，然后通以0．1—0．2MPa的惰性（Ar、He）、中性（N2）或還原性（H2）氣體，并在充分攪動條件下施行加熱，與在單純真空條件下比較，加熱速度至少可提高一倍以上。
    高碳、高合金工模具鋼真空鍍膜設備真空加熱奧氏體化后在惰性、中性或還原性氣體中淬火冷卻是惰性。中性或還原性氣體中淬火冷卻是保證質(zhì)量的唯一可行途徑。但是負壓和常壓下的氣冷不能使大型工件或批量爐料都獲得好的淬硬效果。一則氣體本身也需要冷卻，二則在有限體積條件下要增加氣體的冷卻能力，只有靠增加冷卻氣體的量，即提高冷卻氣體的壓力來實現(xiàn)。